淄博國家高新區(qū)MEMS研究院于2010年由淄博高新區(qū)與清華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院合作共建，致力于建設(shè)運(yùn)營國內(nèi)首條6英寸硅基MEMS中試代工線，引進(jìn)培養(yǎng)MEMS專業(yè)人才，推進(jìn)MEMS技術(shù)和產(chǎn)品在淄博的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，帶動(dòng)我國MEMS產(chǎn)業(yè)及其相關(guān)的先進(jìn)制造、電子信息和新材料等產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展。
  研究院聘請(qǐng)中國工程院院士尤政教授擔(dān)任名譽(yù)院長，設(shè)有“精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室MEMS分實(shí)驗(yàn)室”、“清華大學(xué)微米納米技術(shù)研究中心MEMS分中心”和“智能微系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室MEMS分實(shí)驗(yàn)室”等機(jī)構(gòu)，可提供MEMS器件設(shè)計(jì)、中試、代工和檢測分析等專業(yè)服務(wù)，并具備知識(shí)產(chǎn)權(quán)、標(biāo)準(zhǔn)化等公共服務(wù)。
  為推動(dòng)MEMS科技成果轉(zhuǎn)化，研究院投資組建了國有控股公司——山東博華電子科技發(fā)展有限公司。公司集中了國內(nèi)專業(yè)從事MEMS工藝和傳感器設(shè)計(jì)的專家人才，專門從事MEMS微型傳感器的研發(fā)與生產(chǎn)。